CVD多温区管式电炉带气体控制柜
详细描述
以上图尺寸为:炉管直径60×加热区3×250(mm) 的炉体外形图纸
管式电炉参数
采用三套微电脑控制系统,三个温区**控制可分(低中高、中低高、高中低)等不同温度区间,也可以把三个温度统一控制从而获得更长的温度均匀区
用途:
**用于陶瓷、冶金、电子、玻璃、化工、机械、耐火材料、新材料开发、特种材料、建材等领域。
特点:
1、控制精度:±1℃ 炉温均匀度:±1℃(根据加热室大小而定) 。
2、采用三套微电脑控制系统,三个温区**控制可分(低中高、中低高、高中低)等不同温度区间,也可以把三个温度统一控制从而获得更长的温度均匀区,操作方便,可编程,PID自整定、自动升温、自动保温、 自动降温,无需值守;可另配与计算机通讯通过计算机操作电炉(启动电炉、停止电炉、暂停升温、设定升温曲线、升温曲线储存、历史曲线等),软件免费详见:计算机控制系统。
3、炉管采用刚玉99陶瓷管或者石英玻璃管。
4、不锈钢KF金属法兰密封(双胶圈)
5、炉体温度接近室温
6、双回路保护
7、进口耐火材料,保温性能好,耐温高
8、真空度 -0.1Mpa
9、可通多种气体(氧气、氮气、氩气、**气等)
10、温度类别:1000℃ 1200℃ 1400℃ 1600℃ 1700℃ 1800℃
技术指标:
温度
项目
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1000℃ 、1200℃、 1400℃
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1600℃ 1700℃
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1800℃
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电压AC
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220V/380V
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220V/380V
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220V/380V
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工作温度
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1000℃ 、1200℃、 1400℃
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1600℃ 1700℃
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1800℃
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长期工作温度
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1000℃ 、1200℃、 1400℃
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1600℃ 1700℃
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1800℃
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控温精度
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±1℃
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±1℃
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±1℃
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炉管材质
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不锈钢管/石英玻璃管/刚玉管
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刚玉管
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高纯刚玉管
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密封
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304不锈钢双胶圈KF法兰
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304不锈钢双胶圈KF法兰
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304不锈钢双胶圈KF法兰
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真空度
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-0.1MPa
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-0.1MPa
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-0.1MPa
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真空泵
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机械泵/双级泵
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机械泵/双级泵
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机械泵/双级泵
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真空显示
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指针+数显
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指针+数显
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指针+数显
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压力控制
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手动+自动
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手动+自动
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手动+自动
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气体流量调节
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数显质量流量计
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数显质量流量计
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数显质量流量计
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气体流量调节数量
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1-4
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1-4
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1-4
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压力保护
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防差压自动减压装置
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防差压自动减压装置
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防差压自动减压装置
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炉内温场均匀度
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±1℃(根据加热室大小而定),要求更高时可采用多点控温
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±1℃(根据加热室大小而定) 要求更高时可采用多点控温
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±1℃(根据加热室大小而定) 要求更高时可采用多点控温
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测温元件及测温范围
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铂铑 S 测温范围0-1700℃
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铂铑铂 B 测温范围0-1820℃
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铂铑铂 B 测温范围0-1820℃
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编程曲线段数
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一组50段,二组22段,三组8段
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一组50段,二组22段,三组8段
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一组50段,二组22段,三组8段
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升温速率
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1℃/h至40℃/min可调
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1℃/h至40℃/min可调
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1℃/h至40℃/min可调
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发热元件
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硅碳棒
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硅钼棒
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进口硅钼棒
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发热元件位置
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安装位置炉管两侧
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安装位置炉管两侧
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安装位置炉管两侧
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耐火材料
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高纯氧化铝纤维板
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进口摩根
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进口高纯氧化铝
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冷却结构
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双层炉壳,风冷
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双层炉壳,风冷
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双层炉壳,风冷
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炉体温度
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≤45度
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≤45度
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≤45度
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计算机接口
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RS485 RS232 USB
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RS485 RS232 USB
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RS485 RS232 USB
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保修范围及期限
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电炉免费保修一年,发热元件、炉管不保修(发热元件三个月内自然损坏免费更换)
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随机备件
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发热原件两支、棒具两套,说明书一份 ,合格证一份,炉门隔热砖一块,坩埚钳一把,高温手套一副,管式炉**用坩埚一个,密封圈两个
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气体控制柜
进气种类
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2种 (可选1-10种)
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气体混合
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通过调节各个进气流量计的值
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阀门
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进口不锈钢阀门(可选普通、不锈钢、电磁阀等)
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流量计
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两个0-300毫升/分钟(根据进气数量,可选质量流量计、浮球流量计等)
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压力检测
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正压、负压双指示指针压力表一个(可选数显真空计等)
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真空泵
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双级旋片真空泵,抽速2L/min
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气路管道
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气体**用PV软管(根据气体的需求可采用洁净不锈钢管)
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压力保护
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为了防止炉管排气口关闭、排气口堵塞、炉管压力过大产生危险,**作此系统,原理:由电接点压力表或者压力传感器获得信号,驱动控制模块关闭电磁进气阀,启动电磁排气阀和**器。从而保护电炉的正常运行
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气体泄漏**
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根据所通气氛,避免发生泄漏;作用:气体泄漏**检测到(室内)空气的有**、危险性等气体的含量超过一定值时,驱动模块关闭电炉、关闭气源进气,开启排气口、排风等,从而获得更高、更安**的工作环境。
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炉管直径(毫米)
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加热**度(毫米)
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电压
AC V
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功率 KW(根据升温速率而定)
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30、50、60、80、90、100、110、150等
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150、250、300、400、500、600、700、1000、1200等
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380/220
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2至30KW
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